KonKaMis – Konfigurierbare Kamera für Mikrosysteme

Das Projekt KonKaMis entwickelt als Beispiel für ein hochwertiges, multifunktionales und preiswertes Mikrosystem eine vielseitig einsetzbare und konfigurierbare Mikrokamera.

Die modulare Mikrokamera soll so strukturiert sein, dass sie möglichst einfach auf unterschiedliche Aufgaben (z.B. besonders schnelle oder besonders hochauflösende Bilderfassung) angepasst werden kann.

Ziel ist es, ein geringfügig überdimensioniertes und höherwertiges Produkt zu einem günstigeren Preis als derzeit erhältliche Spezialkameras anzubieten. Einsparpotentiale ergeben sich durch angepasste Fertigungsprozesse (z. B. Batch-Fertigung) und höhere Fertigungsstückzahlen.

Weitere Informationenweitere Informationen finden Sie auf der KonKaMis Webseite


µ-Probe – Intelligentes Prüfkartensystem

Ziel des Verbundprojekts µ-Probe ist die Entwicklung und Erprobung eines neuartigen intelligenten Prüfkartensystems für den Test von Halbleiterwafern.

Kernelement der Prüfkarte ist eine waferseitige Führungsplatte, die hochgenaue Mikrobohrungen in einer prüflingsspezifischen Anordnung enthält. Diese Bohrungen müssen in der benötigten Genauigkeit sehr reproduzierbar hergestellt werden, um kleinere Padabstände und damit eine höhere Nadeldichte zu erreichen. Des Weiteren sollen Maßnahmen zur aktiven Temperaturregelung von Prüfkarten-Baugruppen entwickelt und charakterisiert werden, um die negativen Effekte des Temperatureintrags in die Prüfkarte auf den Prüfprozess zu verringern. Dies ist insbesondere beim Übergang auf neuartige Kontaktierverfahren wichtig, da diese wegen ihrer geringeren Abmaße weniger Toleranz gegenüber äußeren Positionsänderungen aufweisen werden. Zur Verifikation des Gesamtsystems werden Prototypen angefertigt und unter realen Anwendungsbedingungen getestet.

Weitere Informationenweitere Informationen finden Sie auf der µ-Probe Webseite


DruSym – Serienstart komplexer Mikrosysteme

Drucken von feinsten elektrischen Strukturen zur Herstellung von Umverdrahtungsträgern.
Drucken von „low-cost“-Sensoren für Fluidanwendungen: Temperatur, Druck, Durchfluss.

Weitere Informationenweitere Informationen finden Sie auf der DruSym Webseite


SeSkom – Serienstart komplexer Mikrosysteme

SeSkom ist im Spitzencluster MicroTec Südwest ein Treiberprojekt für den Aufbau der
PRONTO-Plattform, um KMU beim Serienanlauf komplexer Mikrosysteme zu unterstützen.

Die KMU greifen dabei auf Prozesse, Ausstattungen und Personal in den beteiligten wirtschaftsnahen Instituten zurück. Es werden alle notwendigen infrastrukturellen Werkzeuge erarbeitet und erprobt, um eine verteilte Fertigung erfolgreich durchzuführen.
Die projekt- übergreifend nutzbaren Ergebnisse werden im PRONTO Organisation Manual (POM) dokumentiert.

Für die Produktion von komplexen Mikrosystemen wird häufig eine spezielle, kostenintensive Infrastruktur benötigt, die für KMU häufig eine finanziell unüberbrückbare Eintrittsbarriere in neue Technologien darstellt.

Die PRONTO-Plattform wird diese Innovationsbarriere abbauen, indem sie KMU ermöglicht, auf standardisierte und qualifizierte Produktionsprozesse zuzugreifen.

Weitere Informationenweitere Informationen finden Sie auf der SeSkom Webseite


Ultimum – Ultradünne flexible Chips und Schaltungsträger zum Einsatz in Mikrosystemen

Im Rahmen der Produktionsplattform PRONTO werden in diesem Projekt Verfahren entwickelt, die die Einbettung ultradünner Chips in flexible Leiterplatten erlauben.

Eingebettete Chips können mit anderen Komponenten (Sensoren, Antennen) kombiniert und so kostengünstig gefertigt werden. Auf Basis dieser Technologie werden Systeme mit signifikant verbesserten Eigenschaften und guten Marktchancen entwickelt.

Die Fertigungstechniken werden an Beispielen erprobt und können als Basistechnologie in anderen Projekten eingesetzt werden. So sind Einsatzmöglichkeiten bei der Rolle zu Rolle Fertigung (R2R), bei der Herstellung energieautarker Sensorsysteme und in Anwendungen der Medizintechnik möglich.

Weitere Informationenweitere Informationen finden Sie auf der Ultimum Webseite


R2R-MID – Neue Produkte durch Rolle-zu-Rolle-Fertigung von MID-basierten Mikrosystemen

Das Vorhaben R2R-MID soll die Grundlagen für neue Produkte durch eine Rolle-zu-Rolle-Fertigung von MID-basierten Mikrosystem schaffen. Hierzu werden Anlagen sowie Prozesse für die Produktion eines breiten Spektrums hybrider MID-basierter Mikrosysteme geschaffen.

Insbesondere soll das Verfahren den kompletten Prozess zur Herstellung von 3D MID Bauteilen in wieder verwendbaren bzw. verwertbaren, standardisierten Trägerbändern mittels Endlos- Spritzguss, R2R Laserbearbeitung, Reinigung, außenstromloser Metallbeschichtung, SMD-Bestückung und Flip-Chip-Bestückung im Trägerband ermöglichen.

Durch eine Standardisierung der Trägerbänder soll die Fertigung von MST–Produkten, die bisher nicht sinnvoll als MID-Bauteil produziert werden konnten, z. B. wegen sehr hohen Stückzahlen oder besonderer Anforderungen an die Handhabung wie z. B. Defektfreiheit, u. a. wirtschaftlich ermöglichen. So sollen als Demonstratoren Sensorträgerbaugruppen, und MID-Träger für Mikrokameras die Qualität und Wirtschaftlichkeit des neuen MID Prozesses darstellen.

Eine ganzheitliche Charakterisierung der Anlagen, Prozesse und Demonstratoren sollen Erkenntnisse zur Einschätzung der Produkt- und Industrietauglichkeit im Hinblick auch auf den internationalen Wettbewerb und die Erschließung internationaler Zukunftsmärkte liefern.

Weitere Informationenweitere Informationen finden Sie auf der R2R-MID Webseite


VolProd – Modulare Produktionstechnik für die wirtschaftliche Serienfertigung mikrotechnischer Produkte

Nach Nexus-Studien weisen die Märkte für mikrotechnische Produkte eine jährliche Zuwachsrate von ca. 20% auf. Viele Innovationen bei intelligenten Systemen basieren auf mikrotechnischen Neuentwicklungen.

Der Schlüssel für den industriellen Erfolg der Mikrosystemtechnik liegt in der Produktion. Nur diejenigen mikrotechnischen Produkte, die sich wirtschaftlich und in ausreichender Menge produzieren lassen, haben Chancen auf dem Markt.

Neue mikrotechnische Produkte, die sich im Labor- bzw. Prototypen-Stadium befinden müssen in kürzester Zeit in eine wirtschaftliche Serienfertigung überführt werden. Dies stellt eine der wichtigsten Herausforderungen des Spitzenclusters MicroTEC Südwest dar. Die Bewältigung dieser Problemstellung ist das Thema dieses Projektes.

Weitere Informationenweitere Informationen finden Sie auf der VolProd Webseite


KOMPETENZ IN MIKROAUFBAUTECHNIK, MIKROSYSTEMTECHNIK, MIKROELEKTRONIK UND NANOSTRUKTURIERUNG